Valè sib imidite relatif nan yon chanm pwòp semi-conducteurs (FAB).

Valè sib imidite relatif nan yon chanm pwòp semi-kondiktè (FAB) se apeprè 30 a 50%, sa ki pèmèt yon maj etwat erè nan ± 1%, tankou nan zòn nan litografi - oswa menm mwens nan pwosesis la iltravyolèt byen lwen (DUV) zòn - pandan yon lòt kote li ka rilaks a ± 5%.
Paske imidite relatif gen yon seri de faktè ki ka diminye pèfòmans jeneral chanm pwòp, tankou:
1. Kwasans bakteri;
2. Ranje konfò tanperati chanm pou anplwaye yo;
3. Chaj elektwostatik parèt;
4. Kowozyon metal;
5. Kondansasyon vapè dlo;
6. Degradasyon litografi;
7. Absòbsyon dlo.

Bakteri ak lòt kontaminan byolojik (mwazi, viris, fongis, ti kòb kwiv) ka pwospere nan anviwònman ki gen imidite relatif ki gen plis pase 60%. Gen kèk kominote bakteri ka grandi nan imidite relatif ki gen plis pase 30%. Konpayi an kwè ke imidite ta dwe kontwole nan ranje 40% a 60%, sa ki ka minimize enpak bakteri ak enfeksyon respiratwa.

Imidite relatif nan ranje 40% a 60% se tou yon seri modere pou konfò moun. Twòp imidite ka fè moun santi yo bouche, alòske imidite ki pi ba a 30% ka fè moun santi yo sèk, po jèrse, malèz respiratwa ak malè emosyonèl.

Imidite segondè a aktyèlman diminye akimilasyon nan chaj elektwostatik sou sifas la cleanroom - yon rezilta vle. Imidite ki ba se ideyal pou akimilasyon chaj ak yon sous ki kapab domaje nan egzeyat elektwostatik. Lè imidite relatif la depase 50%, chaj elektwostatik yo kòmanse gaye rapidman, men lè imidite relatif la se mwens pase 30%, yo ka pèsiste pou yon tan long sou yon izolan oswa yon sifas ki pa gen tè.

Imidite relatif ant 35% ak 40% ka itilize kòm yon konpwomi satisfezan, ak chanm pwòp semi-conducteurs jeneralman itilize kontwòl adisyonèl pou limite akimilasyon chaj elektwostatik.

Vitès la nan anpil reyaksyon chimik, ki gen ladan pwosesis korozyon, ap ogmante ak ogmantasyon nan imidite relatif. Tout sifas ki ekspoze a lè alantou chanm pwòp la rapid.